積體電路與微機電產業

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1958年美商德州儀器公司的科學家Jack Kilby製作出全球第一顆「積體電路(IC:Integrated Circuit)」,造就了半個世紀以來電子產業的篷勃發展,到了1990年代,開始有科學家把機械元件與光學元件,整合積體電路製作成單一晶片,稱為「微機電系統(MEMS:Micro Electro Mechanical Systems)」,最近由於人機介面(HMI:Human Machine Interface)的發展,微機電系統(MEMS)扮演愈來愈重要的角色,包括微加速度計、微陀螺儀、微 ...Continua
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