Dielectric Films for Advanced Microelectronics

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Mikhail Baklanov, Karen Maex, Martin Green. Figure 3.13 SXR curves of (A)
porous HSQ, (B) porous MSQ, and (C) porous SiCOH thin films. The curves are
offset for clarity. The standard uncertainty in log(I/I0) is less than the line width.
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