Tribology of Silicon Nano-textured Surfaces Fabricated by Rapid Aluminum-induced Crystallization of Amorphous Silicon

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Rahul Premachandran Nair. 4.1.2 Study on the Effect of Oxide Layer between a-
Si and Al Because the AIC of a-Si process depends on the inter-diffusion
between the Al and the a-Si, even an extremely thin oxide layer between the a-Si
and
...Continua
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